是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數 無氰電鍍設備配套活化劑與絡合劑,替代傳統含氰工藝,在保障鍍層質量的同時提升安全性。海南小型電鍍設備
是專為電感類電子元件(如線圈、磁芯、電感器等)設計的電鍍加工設備,其特點是采用雙滾筒結構,結合滾鍍工藝,以實現小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。
雙滾筒設計:兩個滾筒可同時或交替運行,一桶裝卸時另一桶持續工作,減少停機時間,提升產能。
滾筒優化:采用絕緣耐腐蝕材質(如PP),開孔設計促進鍍液流通,防纏繞結構適配電感元件的細小特性。
滾鍍工藝:元件在滾筒內翻滾,通過電流作用均勻沉積鍍層(如鎳、錫、銀),雙桶可調控轉速、電流等參數。
高效連續生產:雙桶交替作業支持大規模電鍍,尤其適合貼片電感(SMD)、磁環等小件批量處理。
鍍層均勻穩定:滾筒旋轉避免元件堆積死角,結合陰極導電設計,確保復雜形狀表面鍍覆一致性。
低損傷高適配:柔和翻滾減少碰撞損耗,可適配防腐、可焊、導電等多種鍍層工藝需求。
典型場景:貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳(抗氧化)、鍍錫(焊接)或鍍銀(高導)處理。
關鍵注意:需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑,定期維護鍍液成分及導電觸點,避免漏料或鍍層缺陷。 山東實驗型電鍍設備自動化電鍍線的機器人上下料系統,通過視覺識別定位工件,實現高精度無人化操作。
1.前處理系統
對工件表面進行清洗、除油、除銹、磷化(或鈍化)等處理,確保表面潔凈并增強涂層附著力。
設備包括:預清洗槽、脫脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干爐等。
2.電泳槽系統
電泳主槽:容納電泳液,工件在此進行涂裝,槽體需恒溫控制(通常 20~30℃)。
循環過濾系統:保持電泳液均勻,過濾雜質,防止顆粒污染涂層。
電源系統:提供直流電源,控制電壓、電流參數,調節涂層厚度和質量。
超濾(UF)系統:分離電泳液中的水分和雜質,回收涂料并凈化廢水。
3.后處理系統
清洗工序:電泳后水洗(超濾水洗、純水洗)去除工件表面殘留的電泳液,避免雜質影響涂層質量。
烘干固化線:通過烘箱或隧道爐對濕膜進行高溫固化(通常 160~200℃),形成堅硬的漆膜。
4.自動化控制系統
集成 PLC 或工業計算機,控制各工序的時間、溫度、電壓、液位等參數,實現全流程自動化。
配備輸送系統(如懸掛鏈、滾床、機械手),實現工件的連續傳輸。
玻璃鋼離心風機是采用玻璃纖維增強塑料(FRP)制造的離心式通風設備,由玻璃鋼葉輪、機殼及金屬支架構成。工作時電機驅動葉輪高速旋轉,通過離心力將氣體甩出機殼,葉輪中心形成負壓持續吸入氣體,實現高效輸送。其特點包括:1. 耐酸堿鹽腐蝕,適用于化工、污水處理等腐蝕性環境;2. 重量輕強度高,便于運輸安裝且結構穩定;3. 低噪音設計,適合對環境要求高的場所;4. 可定制化適配不同風量風壓需求。廣泛應用于工業廢氣處理(如化工廢氣、冶金粉塵)、環保工程(污水處理廠除臭、垃圾站換氣)及民用通風(商場空調、住宅排油煙)等領域,兼具耐候性與經濟性自動化電鍍設備集成 PLC 控制系統,聯動傳輸裝置實現工序時間、電壓參數準確控制,提升效率。
滾鍍機的應用場景:
滾鍍機決定生產線的適用工件類型滾
1.鍍機適用的工件特征
尺寸:直徑通常<50mm,如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。
形狀:規則或輕微不規則(避免卡孔或纏繞,影響滾筒旋轉)。
批量:適合萬件級以上的大批量生產(如標準件電鍍),小批量生產時滾鍍機效率優勢下降。
2.對電鍍生產線的適配性
若生產線以滾鍍機為鍍槽設備,則整體設計圍繞 “小件批量處理” 優化:
前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸;
傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架;
電源功率匹配滾筒內工件總表面積(電流需均勻分布)。
反之,若生產線以掛鍍為主(如汽車配件、裝飾件),則鍍槽、傳輸系統設計完全不同,體現 “定制化生產線” 特性。 滾鍍設備采用帶孔滾筒裝載小工件,旋轉翻滾中完成電鍍,高效處理螺絲、電子元件等批量小件。山東實驗型電鍍設備
滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質打孔設計,確保電解液流通,配合變頻電機調節轉速,保障小件鍍層均勻。海南小型電鍍設備
廢氣處理設備是電鍍設備不可或缺的配套設施,在電鍍生產過程中發揮著重要作用,具體關系如下:
電鍍過程中會產生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進行處理,這些廢氣會彌漫在車間內,不僅會對操作人員的身體健康造成嚴重危害。廢氣處理設備通過收集和凈化這些有害廢氣,能將車間內的空氣質量維持在安全標準范圍內,同時確保排放到大氣中的廢氣符合環保要求,從而保護環境和人員健康。
電鍍車間內的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性,長期暴露在這些廢氣中,電鍍設備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會被腐蝕,導致設備的使用壽命縮短,維修成本增加。
廢氣處理設備有效去除有害廢氣,減少對電鍍設備的腐蝕,保障電鍍生產的穩定進行。
如果車間內廢氣彌漫,空氣中的灰塵、雜質等容易吸附在待鍍工件表面,影響鍍層與工件的結合力,導致鍍層出現麻點、、起皮等缺陷,降低電鍍產品的質量和良品率。廢氣處理設備有助于保持車間內空氣的清潔,減少空氣中雜質對鍍件的污染
隨著環保法規的日益嚴格,電鍍企業必須確保其生產過程中的廢氣排放達到國家和地方的環保標準。
海南小型電鍍設備