集氣罩:根據前處理設備形狀、廢氣散發特點定制,如槽邊側向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質,用于連接抽風設備各部件,將廢氣輸送至處理設備,其設計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風機:常安裝在輸送通道出風口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據實際需求選擇不同規格和性能的引風機。
此外,一些抽風裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質等對風機的損害 。 安全防護設備包括防腐內襯、漏電保護裝置及應急沖洗設施,降低藥液泄漏與觸電風險。深圳國產電鍍設備
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數 深圳國產電鍍設備鍍鉻設備需配置鉛合金陽極與陽極袋,防止雜質污染電解液,確保硬鉻鍍層的高硬度與耐磨性。
電鍍自動線是通過自動化設備實現連續生產的電鍍系統,主要類型及特點如下:
主流自動線類型
1.龍門式自動線
結構:多工位龍門機械手驅動,PLC控制
特點:精度高(±0.1mm),適用于精密件(如汽車部件、電子接插件)
產能:單線日處理量可達5000-10000件
2.環形垂直升降線
結構:環形軌道+升降機,連續循環作業
特點:節拍快(20-40秒/掛),適合中小型工件(如五金件、衛浴配件)
優勢:占地小,能耗低(節電30%以上)
3.滾鍍自動線
結構:六角滾筒+變頻驅動,批量處理小型零件(螺絲、紐扣)
參數:滾筒轉速3-10rpm,裝載量50-200kg/批
鍍層均勻性:±15%,效率達8㎡/h
4.連續電鍍線
類型:帶材/線材電鍍(如PCB銅箔、銅線)
技術:張力控制+多槽串聯,速度可達10-30m/min
精度:鍍層厚度偏差<5%
5.機器人電鍍線
配置:六軸機器人+視覺定位
系統應用:復雜曲面工件(汽車輪轂、航空部件)
優勢:柔性生產,支持多品種切換
應用領域
汽車:鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻
電子:PCB微孔鍍銅、連接器鍍金
五金:衛浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅
1.鍍銅液方面
酸性鍍銅液導電性強、分散性佳,能快速鍍厚銅,常用于電子元件底層鍍銅;
堿性鍍銅液穩定性好,腐蝕性小,所得銅層結晶細、結合力強,適用于鋼鐵基體打底。
2.鍍鎳液
瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護,鍍層光亮耐磨,在防護裝飾性電鍍中廣泛應用;
氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優,鍍層內應力低、延展性好,多用于對鍍層質量要求高的電子、航天領域。
3.鍍鋅液里
堿性鍍鋅液陰極極化作用強,鋅層耐腐蝕性好;
酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快,外觀光亮,不過腐蝕性強。
4.鍍金液
有物鍍金液,鍍層均勻光亮、硬度高;
無氰鍍金液則更環保。
5.鍍銀液
物鍍銀液電鍍性能好,鍍層導電導熱優;
硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環保。選擇鍍液要綜合零件材質、形狀、使用環境及實驗目的等,兼顧成本與環保。
在選擇鍍液時,需要根據待鍍零件的材質、形狀、尺寸、使用環境以及實驗目的等因素進行綜合考慮,同時還需考慮鍍液的成本、環保性和操作難度等因素。 模塊化電鍍設備支持槽體自由組合,可快速切換掛鍍、滾鍍模式,靈活適配多品種小批量生產需求。
廢氣處理設備是電鍍設備不可或缺的配套設施,在電鍍生產過程中發揮著重要作用,具體關系如下:
電鍍過程中會產生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進行處理,這些廢氣會彌漫在車間內,不僅會對操作人員的身體健康造成嚴重危害。廢氣處理設備通過收集和凈化這些有害廢氣,能將車間內的空氣質量維持在安全標準范圍內,同時確保排放到大氣中的廢氣符合環保要求,從而保護環境和人員健康。
電鍍車間內的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性,長期暴露在這些廢氣中,電鍍設備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會被腐蝕,導致設備的使用壽命縮短,維修成本增加。
廢氣處理設備有效去除有害廢氣,減少對電鍍設備的腐蝕,保障電鍍生產的穩定進行。
如果車間內廢氣彌漫,空氣中的灰塵、雜質等容易吸附在待鍍工件表面,影響鍍層與工件的結合力,導致鍍層出現麻點、、起皮等缺陷,降低電鍍產品的質量和良品率。廢氣處理設備有助于保持車間內空氣的清潔,減少空氣中雜質對鍍件的污染
隨著環保法規的日益嚴格,電鍍企業必須確保其生產過程中的廢氣排放達到國家和地方的環保標準。
鍍鉻設備配置鉛銻合金陽極與陽極袋,過濾陽極泥渣,防止雜質污染鍍液,維持硬鉻鍍層高硬度。深圳國產電鍍設備
攪拌設備通過空氣鼓泡或機械槳葉驅動電解液流動,避免濃度分層,提升鍍層均勻性與沉積效率。深圳國產電鍍設備
對比項 傳統滾鍍 半導體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業環境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調 實時閉環控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質)
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優化:通過機器學習預測鍍層缺陷。與CMP(化學機械拋光)、PVD設備聯動,形成全自動金屬化產線
半導體滾鍍設備是封裝與芯片制造的關鍵裝備,通過精密旋轉與鍍液控制,實現納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術在于潔凈環境下的高精度工藝控制 深圳國產電鍍設備