廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-02
支持 SEMI E4、E5、E37 等通信協議,可與半導體工廠的智能制造系統(SMES)無縫對接,實現工藝數據實時追溯和設備狀態遠程監控。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐已通過 SEMI S2/S8 安全認證,滿足半導體行業嚴苛要求。
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