遼寧紫外光刻膠廠家

來源：發布時間：2025-06-24

厚板光刻膠

電路板制造：在制作對線路精度和抗蝕刻性能要求高的電路板時，厚板光刻膠可確保線路的精細度和穩定性，比如汽車電子、工業控制等領域的電路板，能承受復雜環境和大電流、高電壓等工況。
功率器件制造：像絕緣柵雙極晶體管（IGBT）這類功率器件，需要承受高電壓和大電流，厚板光刻膠可用于其芯片制造過程中的光刻環節，保障芯片內部電路的精細布局，提高器件的性能和可靠性。

負性光刻膠

半導體制造：在芯片制造過程中，用于制作一些對精度要求高、圖形面積較大的結構，如芯片的金屬互連層、接觸孔等。通過負性光刻膠的曝光和顯影工藝，能實現精確的圖形轉移，確保芯片各部分之間的電氣連接正常。
平板顯示制造：在液晶顯示器（LCD）和有機發光二極管顯示器（OLED）的制造中，用于制作電極、像素等大面積圖案。以 LCD 為例，負性光刻膠可幫助形成液晶層與玻璃基板之間的電極圖案，控制液晶分子的排列，從而實現圖像顯示。

光刻膠的感光靈敏度受波長影響，深紫外光(DUV)與極紫外光(EUV)對應不同產品。遼寧紫外光刻膠廠家

正性光刻膠

半導體分立器件制造：對于二極管、三極管等半導體分立器件，正性光刻膠可實現精細的圖形化加工，滿足不同功能需求。比如在制作高精度的小尺寸分立器件時，正性光刻膠憑借其高分辨率和良好對比度，能精確刻畫器件的結構，提高器件性能。
微機電系統（MEMS）制造：MEMS 器件如加速度計、陀螺儀等，結構復雜且尺寸微小。正性光刻膠用于 MEMS 制造過程中的光刻步驟，可在硅片等材料上制作出高精度的微結構，確保 MEMS 器件的功能實現。

深圳PCB光刻膠感光膠紫外光照射下，光刻膠會發生光化學反應，從而實現圖案的轉移與固定。

研發投入

? 擁有自己實驗室和研發團隊，研發費用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅體、低缺陷納米壓印膠等前沿領域，與中山大學、華南理工大學建立產學研合作。

? 專項布局：累計申請光刻膠相關的項目30余項，涵蓋樹脂合成、配方優化、涂布工藝等細致環節。

生產體系

? 全自動化產線：采用德國曼茨（Manz）涂布設備、日本島津（Shimadzu）檢測儀器，年產能超500噸（光刻膠），支持小批量定制（小訂單100g）和大規模量產。

? 潔凈環境：生產車間達萬級潔凈標準（ISO 8級），避免顆粒污染，確保光刻膠缺陷密度<5個/cm2。

? 化學反應：

? 正性膠：曝光后光敏劑（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在堿性顯影液中溶解；

? 負性膠：曝光后光敏劑引發交聯劑與樹脂形成不溶性網狀結構。

5. 顯影（Development）

? 顯影液：

? 正性膠：堿性水溶液（如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH），溶解曝光區域；

? 負性膠：有機溶劑（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光區域。

? 方法：噴淋顯影（PCB）或沉浸式顯影（半導體），時間30秒-2分鐘，需控制顯影液濃度和溫度。

6. 后烘（Post-Bake）

? 目的：固化膠膜，提升耐蝕刻性和熱穩定性。

? 條件：

? 溫度：100-150℃（半導體用正性膠可能更高，如180℃）；

? 時間：15-60分鐘（厚膠或高耐蝕需求時延長）。

7. 蝕刻/離子注入（后續工藝）

? 蝕刻：以膠膜為掩膜，通過濕法（酸堿溶液）或干法（等離子體）刻蝕基板材料（如硅、金屬、玻璃）；

? 離子注入：膠膜保護未曝光區域，使雜質離子只能注入曝光區域（半導體摻雜工藝）。

8. 去膠（Strip）

? 方法：

? 濕法去膠：強氧化劑（如硫酸+雙氧水）或有機溶劑（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；

? 干法去膠：氧等離子體灰化（半導體領域，無殘留）。

吉田半導體助力區域經濟發展，推動產業鏈協同創新。

關鍵工藝流程

涂布與前烘：

? 旋涂或噴涂負性膠，厚度可達1-100μm（遠厚于正性膠），前烘溫度60-90℃，去除溶劑并增強附著力。

曝光：

? 光源以**汞燈G線（436nm）**為主，適用于≥1μm線寬，曝光能量較高（約200-500mJ/cm2），需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。

顯影：

? 使用有機溶劑顯影液（如二甲苯、醋酸丁酯），未曝光的未交聯膠膜溶解，曝光的交聯膠膜保留。

后處理：

? 后烘（Post-Bake）：加熱（100-150℃）進一步固化交聯結構，提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力。

PCB光刻膠用于線路板圖形轉移，需耐受蝕刻液的化學腐蝕作用。湖南阻焊油墨光刻膠生產廠家

松山湖半導體材料廠家吉田，全系列產品支持小批量試產！遼寧紫外光刻膠廠家

作為中國半導體材料領域的企業，吉田半導體材料有限公司始終以自研自產為戰略，通過 23 年技術沉淀與持續創新，成功突破多項 “卡脖子” 技術，構建起從原材料到成品的全鏈條國產化能力。其自主研發的光刻膠產品已覆蓋芯片制造、顯示面板、精密電子等領域，為國內半導體產業鏈自主化提供關鍵支撐。

吉田半導體依托自主研發中心與產學研合作，在光刻膠領域實現多項技術突破：

YK-300 正性光刻膠：分辨率達 0.35μm，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，適用于 45nm 及以上制程，良率達 98% 以上，成本較進口產品降低 40%，已通過中芯國際量產驗證。
SU-3 負性光刻膠：支持 3μm 厚膜加工，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，成功應用于高通 5G 基帶芯片封裝，良率提升至 98.5%。
JT-2000 納米壓印光刻膠：突破 250℃耐高溫極限，圖形保真度 > 95%，性能對標德國 MicroResist 系列，已應用于國產 EUV 光刻機前道工藝。

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