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確保準確性：驗證模型在特定任務上的預測或分類準確性是否達到預期。提升魯棒性：檢查模型面對噪聲數(shù)據(jù)、異常值或對抗性攻擊時的穩(wěn)定性。公平性考量：確保模型對不同群體的預測結果無偏見，避免算法歧視。泛化能力評估：測試模型在未見過的數(shù)據(jù)上的表現(xiàn)，以預測其在真實世界場景中的效能。二、模型驗證的主要方法交叉驗證：將數(shù)據(jù)集分成多個部分，輪流用作訓練集和測試集，以***評估模型的性能。這種方法有助于減少過擬合的風險，提供更可靠的性能估計。K折交叉驗證：將數(shù)據(jù)集分為K個子集，模型在K-1個子集上訓練，并在剩下的一個子集上測試。黃浦區(qū)優(yōu)良驗證模型熱線

實驗條件的對標首先，要將模型中的實驗設置與實際的實驗條件進行對標，包含各項工藝參數(shù)和測試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機信息、照明條件、光刻涂層設置等信息。測試圖案要基于設計規(guī)則來確定，同時要確保測試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測量進行光刻膠形貌測量時，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準，如圖3所示。靜安區(qū)優(yōu)良驗證模型要求繪制學習曲線可以幫助理解模型在不同訓練集大小下的表現(xiàn)，幫助判斷模型是否過擬合或欠擬合。

光刻模型包含光學模型和光刻膠模型，其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過程中發(fā)生的物理化學反應[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導。然而，由于模型中許多參數(shù)不可直接測量或測量較為困難，通常采用實際曝光結果來校準模型，即光刻膠模型的校準[2]。鑒于模型校準的必要性，業(yè)界通常需要花費大量精力用于模型校準的實驗與結果，如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準主要包含四個部分：實驗條件的對標、光刻膠形貌的測量、模型校準、模型驗證。

因為在實際的訓練中，訓練的結果對于訓練集的擬合程度通常還是挺好的（初始條件敏感），但是對于訓練集之外的數(shù)據(jù)的擬合程度通常就不那么令人滿意了。因此我們通常并不會把所有的數(shù)據(jù)集都拿來訓練，而是分出一部分來（這一部分不參加訓練）對訓練集生成的參數(shù)進行測試，相對客觀的判斷這些參數(shù)對訓練集之外的數(shù)據(jù)的符合程度。這種思想就稱為交叉驗證（Cross Validation） [1]。交叉驗證（Cross Validation），有的時候也稱作循環(huán)估計（Rotation Estimation），是一種統(tǒng)計學上將數(shù)據(jù)樣本切割成較小子集的實用方法，該理論是由Seymour Geisser提出的。常見的有K折交叉驗證，將數(shù)據(jù)集分為K個子集，輪流使用其中一個子集作為測試集，其余作為訓練集。

驗證模型是機器學習和統(tǒng)計建模中的一個重要步驟，旨在評估模型的性能和泛化能力。以下是一些常見的模型驗證方法：訓練集和測試集劃分：將數(shù)據(jù)集分為訓練集和測試集，通常按70%/30%或80%/20%的比例劃分。模型在訓練集上進行訓練，然后在測試集上評估性能。交叉驗證：K折交叉驗證：將數(shù)據(jù)集分為K個子集，模型在K-1個子集上訓練，并在剩下的一個子集上測試。這個過程重復K次，每次選擇不同的子集作為測試集，***取平均性能指標。留一交叉驗證（LOOCV）：每次只留一個樣本作為測試集，其余樣本作為訓練集，適用于小數(shù)據(jù)集。訓練集用于訓練模型，驗證集用于調整模型參數(shù)（如超參數(shù)調優(yōu)），測試集用于評估模型性能。黃浦區(qū)直銷驗證模型咨詢熱線

監(jiān)控模型在實際運行中的性能，及時收集反饋并進行必要的調整。黃浦區(qū)優(yōu)良驗證模型熱線

交叉驗證有時也稱為交叉比對，如：10折交叉比對 [2]。Holdout 驗證常識來說，Holdout 驗證并非一種交叉驗證，因為數(shù)據(jù)并沒有交叉使用。 隨機從**初的樣本中選出部分，形成交叉驗證數(shù)據(jù)，而剩余的就當做訓練數(shù)據(jù)。 一般來說，少于原本樣本三分之一的數(shù)據(jù)被選做驗證數(shù)據(jù)。K-fold cross-validationK折交叉驗證，初始采樣分割成K個子樣本，一個單獨的子樣本被保留作為驗證模型的數(shù)據(jù)，其他K-1個樣本用來訓練。交叉驗證重復K次，每個子樣本驗證一次，平均K次的結果或者使用其它結合方式，**終得到一個單一估測。這個方法的優(yōu)勢在于，同時重復運用隨機產生的子樣本進行訓練和驗證，每次的結果驗證一次，10折交叉驗證是**常用的 [3]。黃浦區(qū)優(yōu)良驗證模型熱線

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