甲酸爐設(shè)備的真空度與甲酸濃度如何協(xié)同控制？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-06

通過 PID 串級控制算法，真空度與甲酸濃度形成動態(tài)聯(lián)動：當(dāng)真空度低于 5Pa 時，自動降低甲酸流量以避免過度活化；當(dāng)真空度高于 10Pa 時，提升甲酸濃度補償氧化風(fēng)險。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備可實現(xiàn)真空 - 濃度曲線的自定義編程，適應(yīng)復(fù)雜工藝需求。

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